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PLASMA POWER SUPPLY等离子电源维修NW-HSPS3503

发布者:变频器维修部    来源:上海仰光电子工程部     发布时间:2021-6-18

PLASMA POWER SUPPLY等离子电源维修NW-HSPS3503

  等离子电源维修:太阳能光伏、PVD镀膜,半导体薄膜、离子注入、刻蚀,平板显示,光盘、光电子LED等制造设备以及科研院校、技术研究所等行业。

  等离子电源常见问题及解决方法:

1.工作气压过低

等离子切割机工作时,如工作气压远低于说明书所要求的气压,这意味着等离子弧的喷出速度减弱,输入气流小于所要求的值,此时不能形成高能量、高速度的等离子弧,从而造成切口质量差、切不透、切口积瘤的现象。气压不足的原因有:空压机输入空气不足。切割机空气调节阀调压过低,电磁阀内有油污,气路不通畅等。因此需要从这些方面逐个检查,发现问题及时改善。

2.工作气压过高

若输入空气压力过高,则在形成等离子弧后,过大的气流会吹散集中的弧柱,使弧柱能量分散,减弱了等离子弧的切割强度。产生原因主要是:输入空气调节不当、空气过滤减压阀调节过高或者是空气过滤减压阀失效。

3.电极喷嘴等易损件安装不当

电极喷嘴有螺纹的,需要拧紧到位。因喷嘴安装不当,如丝扣未上紧,涡流环安装不规范,都会造成切割不稳定,易损件过快损坏。

4.输入交流电压过低

调试使用前,检查等离子切割机所接入电网是否有足够的承载能力,电源线规格是否符合要求。等离子切割机安装地点,应远离大型用电设备和经常有电气干扰的地方。

5.地线与工件接触不良

接地是切割前一项必不可少的准备工作。未使用专用的接地工具,工件表面有绝缘物及长期使用老化严重的地线等,都会使地线与工件接触不良。

6.切割速度和割枪夹持的垂直度

切割速度的快与慢,应当根据切割不同的材质和厚度,电流大小相符合。过快或者过慢,都会造成切割面不平,上下沿挂渣。另外,割枪夹持不垂直,喷出的等离子弧也是斜着喷出,也会造成切割面有斜度。

刻蚀(ET): LAM 9400、9600

                 AMAT CENTURA II&I

                 AMAT  SEMVision G2

离子注入(DF):VARIAN

                EATON(AXCELIS)

                NISSIN

                AMAT PI9500 9200

光刻(PH):NIKON  NSR

                   ASML 5500

太阳能光伏PECVD: centrotherm(管式镀膜)Roth&Rau(平板式镀膜 德国)

服务品牌

AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、SEREN、DAIHEN、VEECO射频电源,HiTek power,Glassman、Spellman高压电源,Lambda、delta、sorensen、Powerone直流电源。ASTeX  Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH  LAMP、ESC HV PSU




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