安捷伦HLD PD03氦质谱检漏仪质谱室故障原因及维修
氦质谱检漏仪机械泵故障及处理：
1、机械泵不动作
检查项目有：氦质谱检漏仪电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热(泵冷却后是否能启动)。
2、机械泵声音异常
检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否<10℃，油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排出，更换油雾过滤器)。
氦质谱检漏仪分子泵故障及处理：
1、仪器界面上TMP显示“0”即分子泵没有工作
有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有：真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害，可自行用工具拨动叶片，判断其能否转动。
2、分子泵加速指示灯不亮
电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。
3、分子泵故障灯亮
检查电路板设置开关是否处于R位置，此时应该在N位置。检查风扇是否停止，如风扇正常，则可能为氦质谱检漏仪分子泵电源故障。
氦质谱检漏仪质谱室故障及处理：
1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。
2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦质谱检漏仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修ZX处理。
氦质谱检漏仪检测开始时出现的故障：
1、检漏键无效(绿色指示灯亮)
检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。
2、检漏键无效(指示灯不亮)
I/O短接插头未插入氦质谱检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时氦质谱检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。
氦质谱检漏仪检漏时出现的故障：
1、不向细检方式转换，检漏口压力<2×10-4MPa：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明氦质谱检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。
2、灵敏度低。检查三极规所测压力，等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。
3、氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染)，检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查三极规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果有多台氦质谱检漏仪，且氦气的使用量较大，通风不好时，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大大减少了环境的氦污染。
4、工装设计不合理导致检漏通不过。初检时工作正常，工作几次后，抽速大大减慢，检漏不过;加死堵氦质谱检漏仪不漏，工作正常。这是因为工装设计不合理所致，比如工装结构不合理，内表面太粗糙，导致过多的氦气残留;或者密封设计不合理导致密封不可靠(由于工装设计人员对专业真空设计不熟悉)。
5、操作不合理导致故障。如工作中，有一个大漏的工件，由于操作人员判断错误，不认为工件漏，而去检查工装的连接或者氦质谱检漏仪，多次对这一工件检漏。这样就会发现，所有工件都不过。原因是大漏的工件经多次检漏后，有大量的氦气进入质谱室，造成质谱室污染。解决的办法是，清理质谱室，反复吸气排气。
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