测量原理与测量基准
海德汉公司的光学扫描型光栅尺或编码器的测量基准都是周期刻线—光栅。这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。
这些精密光栅通过多种光刻工艺制造。
光栅的制造方式有:
1.在玻璃上镀硬铬线
2.在镀金钢带上蚀刻线条
3.在玻璃或钢材基体上蚀刻三维结构图案。
海德汉公司开发的光刻工艺生产的栅距典型值为50μm至4μm。
这些光刻工艺制作的光栅栅距非常小，而且线条边缘清晰和均匀。 再加上光电扫描法，这些边缘清晰的刻线是输出高质量信号的关键。
母版光栅采用海德汉公司定制的精密刻线机制造。
采用感应扫描原理的编码器为铜/镍光栅这种光栅刻在印刷电路板的基体材料上。
测量方法
绝对测量法是指编码器通电时就可立即得到位置值并随时供后续信号处理电子电路读取。无需移动轴执行参考点回零操作。绝对位置信息由圆光栅码盘的光栅读取，这个光栅由系列编码的线条或如ECN 100由多条平行光栅轨组成。
用单独的增量信号轨(ECN 100编码器栅距更小的光栅轨)通过细分提供位置值，并同时生成可选的增量信号
单圈编码器的绝对位置值信息每转一圈重复一次。多圈编码器的每圈位置信息都不相同。
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